光学反射元件制造技术

本发明专利技术的光学反射元件具备：可动部(30)；反射面，配置在可动部(30)；框部(16、26)，在俯视下，在可动部(30)的外侧具有给定的间隙地配置，与可动部(30)连接；梁状的扭转部(14、24)，沿着转动轴(R0)延伸；连接部(15、25)，将扭转部(14、24)的一端与框部(16、26)连接；一对驱动部，与扭转部(14、24)的另一端连接；和固定部，支承一对驱动部。连接部(15、25)的刚性高于扭转部(14、24)。在扭转部(14、24)与连接部(15、25)的边界形成有至少包括一对接合面(S12)的接合面。一对接合面(S12)相对于转动轴(R0)对称，并且与扭转部(14、24)侧的转动轴(R0)的夹角分别是锐角。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及使反射面相对于转动轴转动的光学反射元件。

技术介绍

1、近年来，开发了使用mems(micro electro mechanical system，微电子机械系统)技术来使反射面转动的光学反射元件。在这种光学反射元件中，能够使入射到反射面的光束以给定的摆角扫描。这样的光学反射元件例如被搭载于平视显示器、头戴式显示器等图像显示装置。除此以外，也能在使用激光来检测物体的激光雷达等中使用这种光学反射元件。

2、如上述那样，在随着反射面的转动而使光扫描的结构中，通过反射面反复转动时的惯性力，会在反射面产生挠曲。若由于该挠曲而反射面变形成凹面或凸面，则光束会在扫描线上扩散。因此，反射面在转动时尽量抑制挠曲是优选的。

3、在以下的专利文献1中，记载了通过所谓的音叉型振子来使反射镜转动的方式的光学反射元件。在该光学反射元件中，在沿着转动轴延伸的驱动梁的端部连接有框体，进一步地在该框体连接有反射镜。框体的刚性比反射镜的刚性高。在夹着驱动梁而被配置的一对臂部分别配置有压电致动器。通过驱动压电致动器，从而一对臂部振动，驱动梁相对于转动轴转本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光学反射元件，具备：

2.根据权利要求1所述的光学反射元件，其中，

3.根据权利要求1或2所述的光学反射元件，其中，

4.根据权利要求1或2所述的光学反射元件，其中，

5.根据权利要求1或2所述的光学反射元件，其中，

6.根据权利要求5所述的光学反射元件，其中，

7.根据权利要求1至6的任一项所述的光学反射元件，其中，

8.根据权利要求1至7的任一项所述的光学反射元件，其中，

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种光学反射元件，具备：

2.根据权利要求1所述的光学反射元件，其中，

3.根据权利要求1或2所述的光学反射元件，其中，

4.根据权利要求1或2所述的光学反射元件，其中，

5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：水原健介，高山了一，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：