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本发明公开了超精密磁控离子溅射仪,属于操作台技术领域。其主要针对现有产品中用作操作台的柜体为固定式结构,无法适用性升降调整的问题,提出如下技术方案,包括柜体,及设置于其上的设备主体,其中,柜体由主柜与副柜所构成,所述主柜的内部设置有用于放置...该专利属于斯通汉德科技(浙江)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过斯通汉德科技(浙江)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了超精密磁控离子溅射仪,属于操作台技术领域。其主要针对现有产品中用作操作台的柜体为固定式结构,无法适用性升降调整的问题,提出如下技术方案,包括柜体,及设置于其上的设备主体,其中,柜体由主柜与副柜所构成,所述主柜的内部设置有用于放置...