【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及操作台，具体是超精密磁控离子溅射仪。磁控离子溅射仪是应用于各种金属薄膜的溅射蒸镀仪器，在惰性气体或者活性气体中在阳极和阴极蒸发材料间加上几百伏的直流电压，使之产生辉光放电，放电中的离子碰撞到阴极的蒸发材料靶上，靶材的原子就会由其表面蒸发出来，蒸发原子被惰性气体冷却而凝结或与活性气体反应而形成纳米颗粒。目前，体型较大的磁控离子溅射仪一般以柜体为操作台，进而实现其整体式设置，并在柜体的底部安装带有刹车垫的万向轮实现其便捷性移动及稳定停放，但其柜体多为固定式结构，进而其在实际使用的过程中无法根据使用人员的身高需求进行升降式调整，从而降低产品使用的舒适性，增加了工作人员的工作负担，不利于工作人员的身体健康。因此，本领域技术人员提供了超精密磁控离子溅射仪，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
技术介绍
技术实现思路
1、为了克服现有技术的上述缺陷，本专利技术的实施例提供超精密磁控离子溅射仪，通过在柜体的内部增设升降机构，进而使得装载于其上的设备主体能够在使用的过程中根据实际需求进行高度调整，以解决上述...
【技术保护点】
1.超精密磁控离子溅射仪，包括柜体(1)，及设置于其上的设备主体(2)，其中，柜体(1)由主柜(11)与副柜(12)所构成，其特征在于：所述主柜(11)的内部设置有用于放置工具的置物件(3)与用于升降调整的升降机构(4)，其中，升降机构(4)由调节组件(41)与驱动组件(42)所构成；所述调节组件(41)包括有两组，分别设置于主柜(11)的内部两侧，所述调节组件(41)包括滑轨(411)，滑轨(411)上滑动连接有滑板(412)，滑板(412)的顶部固定连接有竖杆(413)，且滑板(412)的底部活动连接有折叠件(414)；所述驱动组件(42)包括双向丝杆(421)，...
【技术特征摘要】
1.超精密磁控离子溅射仪，包括柜体(1)，及设置于其上的设备主体(2)，其中，柜体(1)由主柜(11)与副柜(12)所构成，其特征在于：所述主柜(11)的内部设置有用于放置工具的置物件(3)与用于升降调整的升降机构(4)，其中，升降机构(4)由调节组件(41)与驱动组件(42)所构成；所述调节组件(41)包括有两组，分别设置于主柜(11)的内部两侧，所述调节组件(41)包括滑轨(411)，滑轨(411)上滑动连接有滑板(412)，滑板(412)的顶部固定连接有竖杆(413)，且滑板(412)的底部活动连接有折叠件(414)；所述驱动组件(42)包括双向丝杆(421)，双向丝杆(421)上安装有从动齿轮(422)，从动齿轮(422)的侧边设有电机(424)，电机(424)的输出端安装有主动齿轮(423)，主动齿轮(423)与从动齿轮(422)之间啮合传动，所述从动齿轮(422)的前后分别套设有位于双向丝杆(421)上的连板(425)。
2.根据权利要求1所述的超精密磁控离子溅射仪，其特征在于，所述设备主体(2)设置于副柜(12)上，且副柜(12)位于主柜(11)的上方。
3.根据权利要求1所述的超精密磁控离子溅...
【专利技术属性】
技术研发人员：盛燮冰，
申请(专利权)人：斯通汉德科技浙江有限公司，
类型：发明
国别省市：
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