下载基体的背面处理方法和半导体器件的形成方法的技术资料

文档序号:42377662

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本申请公开了一种基体的背面处理方法和半导体器件的形成方法。该基体的背面处理方法包括以下步骤:提供基体,基体的一侧依次具有半导体结构和阻挡层,基体的另一侧具有第一绝缘层;采用第一湿法刻蚀工艺去除第一绝缘层和部分阻挡层,第一湿法刻蚀工艺对第一绝...
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