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公开了适用于气相过程的方法、系统和组件。示例性组件包括基座板和基座附件。基座附件可以包括斜坡区域和位于斜坡区域上方和外部的电导控制区域。方法、系统和组件可用于在衬底表面上获得期望的材料分布(例如成分和/或厚度)。...
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