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异常感测装置、异常感测方法以及异常感测程序制造方法及图纸
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文档序号:42376677
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提高生产设备中的异常故障的原因的确定性能。一种异常感测装置,该异常感测装置具备:数据获取部,从存储装置读出图像数据和工艺数据,其中,所述存储装置存储由生产设备所具备的拍摄装置持续地输出的图像数据和由生产设备所具备的传感器持续地输出的工艺数据...
该专利属于株式会社大赛璐所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社大赛璐授权不得商用。
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