异常感测装置、异常感测方法以及异常感测程序制造方法及图纸

提高生产设备中的异常故障的原因的确定性能。一种异常感测装置，该异常感测装置具备：数据获取部，从存储装置读出图像数据和工艺数据，其中，所述存储装置存储由生产设备所具备的拍摄装置持续地输出的图像数据和由生产设备所具备的传感器持续地输出的工艺数据；异常判定部，使用学习了正常状态的图像数据的特征量的倾向的模型和数据获取部所获取到的图像数据的特征量来计算图像异常度，并且计算表示数据获取部所读出的工艺数据的故障的程度的传感器值异常度；和原因诊断部，基于对原因与传感器值异常度和图像异常度的组合之间的因果关系的对应建立进行定义的因果关系信息，输出异常判定部所计算出的原因。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开涉及异常感测装置、异常感测方法以及异常感测程序。

技术介绍

1、以往，提出了一种用于使用从机组接收的运转数据来推定异常的原因的技术。例如，提出了一种以使在过去发生过的第一异常事件的发生概率的加权比未发生的第二异常事件的发生概率的加权重的方式推定异常的预兆的原因的技术(专利文献1)。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2018-109851号公报

技术实现思路

1、专利技术所要解决的问题

2、一般而言，在生产设备中，理想的是，预防异常故障，抑制对安全性、稳定性、产物的质量、成本等的影响。本技术的目的在于提高生产设备中的异常故障的原因的确定性能。

3、用于解决问题的方案

4、本公开的异常感测装置例如如下所述。

5、一种异常感测装置，该异常感测装置具备：

6、数据获取部，从存储装置读出图像数据和工艺数据，其中，所述存储装置存储由生产设备所具备的拍摄装置持续地输出的所述图像数据和由所述生产设备所本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种异常感测装置，所述异常感测装置具备：

2.根据权利要求1所述的异常感测装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的异常感测装置，其中，

4.根据权利要求3所述的异常感测装置，其中，

5.根据权利要求1或2所述的异常感测装置，其中，

6.根据权利要求2所述的异常感测装置，其中，

7.根据权利要求1至6中任一项所述的异常感测装置，其中，

8.根据权利要求1至7中任一项所述的异常感测装置，其中，

9.一种异常感测方法，由计算机执行以下处理：

10.一种异常感测程序，用于使计算机执行...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种异常感测装置，所述异常感测装置具备：

2.根据权利要求1所述的异常感测装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的异常感测装置，其中，

4.根据权利要求3所述的异常感测装置，其中，

5.根据权利要求1或2所述的异常感测装置，其中，

6....

【专利技术属性】
技术研发人员：山野幸一，冈洋辉，田村和巳，村上优作，武村和俊，
申请(专利权)人：株式会社大赛璐，
类型：发明
国别省市：