下载一种制作碲化镉薄膜太阳电池的工艺方法的技术资料

文档序号:4237606

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本发明公开了一种制作碲化镉薄膜太阳电池的工艺方法。它具有方法简单,成本低,原材料利用率高等优点,它的步骤为:1)导电玻璃清洗;2)真空蒸发沉积硫化镉;3)采用气体输运沉积碲化镉;4)磁控溅射沉积铬;5)磁控溅射沉积钼;6)磁控溅射沉积铝;7...
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