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原子力显微镜-全内反射显微成像与光谱同步测试装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:42373572
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本发明公开一种原子力显微镜‑全内反射显微成像与光谱同步测试装置及方法,涉及材料力学与光谱性质研究领域,装置中,原子力显微镜通过支架组件固定在倒置的光学显微镜的顶部;全内反射激发调节组件用于对接收到的准直激光进行角度调节以送入光学显微镜并聚焦...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。
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