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本发明公开了一种梯度层+本征层工艺设计方法，涉及光伏电池技术领域，包括选择合适的前驱体和反应气体，前驱体在衬底表面分解并生长一单晶薄层；在所述单晶薄层的斜坡位置生长时间设定的基础上加设平稳位置生长时间，并将该平稳位置生长时间作为梯度层结束信...
该专利属于上海晶盟硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海晶盟硅材料有限公司授权不得商用。

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