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本发明公开了一种用于真空溅射镀膜的异形曲面基片可调节工件架，属于真空镀膜领域，内工件架固定于外工件架内部，框架轨道固定于内工件架一侧，基片安装于框架轨道的框架内，框架轨道上安装有若干支撑部件，支撑部件位于基片四周；外工件架包括外框架，外框架...
该专利属于湖南玉丰真空科学技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南玉丰真空科学技术有限公司授权不得商用。

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