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本发明公开一种IGBT器件检测装置及其检测方法,包括固定底座和检测罩,所述检测罩固定安装在固定底座的上端外表面,所述固定底座的上端位于检测罩的一侧活动安装有移动底板,所述检测罩的内部活动安装有配合移动底板使用的检测器,所述固定底座的一端外表...该专利属于深圳市福斯特半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市福斯特半导体有限公司授权不得商用。
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