下载一种加热装置和外延生长设备的技术资料

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一种加热装置和外延生长设备。加热装置包括:多个灯泡组件(1),用于围绕待加热物体的周向方向间隔排列,每个灯泡组件(1)包括灯座(11)、与灯座(11)电连接的灯丝(12)和罩设在灯丝(12)的外部且安装在灯座(11)上的灯壳(13);反射部...
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