一种加热装置和外延生长设备。加热装置包括：多个灯泡组件(1)，用于围绕待加热物体的周向方向间隔排列，每个灯泡组件(1)包括灯座(11)、与灯座(11)电连接的灯丝(12)和罩设在灯丝(12)的外部且安装在灯座(11)上的灯壳(13)；反射部件(2)，围绕多个灯泡组件(1)设置，用于将多个灯泡组件(1)发射的光朝向待加热物体反射；其中，多个灯泡组件(1)中的至少部分灯泡组件(1)的灯壳(13)的内表面或外表面上设有反射层(F)，反射层(F)用于将灯丝(12)发射的光朝向待加热物体反射。这种装置实现了对待加热物体如晶圆(W)的多温区的分布控制，能够进行较高独立性的调控，保证外延膜在晶圆(W)内分布的均匀性，使得同一批次和不同批次外延膜的一致性较高，提升了使用加热装置的外延生长设备的稳定性和可靠性。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
技术实现思路
【技术保护点】
PCT国内申请，权利要求书已公开。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
pct国内申请，权...
【专利技术属性】
技术研发人员：金兰，刘铁军，朱靖华，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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