下载半导体装置及其形成方法的技术资料

文档序号:42360982

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本发明提供一种半导体装置及其形成方法,其中,半导体装置包括基板;基板上的沟道层;沟道层上的阻挡层;设置于阻挡层上的源极结构,包含水平源极部分及垂直源极部分;设置于阻挡层上的漏极结构,包含水平漏极部分及垂直漏极部分,其中垂直源极部分的尖端源极...
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