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本发明涉及一种用于涂覆单个基板或基板组的内联系统，该系统具有多个腔室，这些腔室一个接一个地布置并且可通过泵排空，这些腔室依次包括进料室、等待室、至少一个处理室、另一个等待室和排料室，基板或基板组依次通过这些腔室，并且每个腔室可通过阀门关闭。...
该专利属于雷纳·克雷默所有，仅供学习研究参考，未经过雷纳·克雷默授权不得商用。

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