下载高压热处理装置以及用于其的气体监测模块的技术资料

文档序号:42360209

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本发明提供一种高压热处理装置以及用于其的气体监测模块,其中,包括:内部腔室,形成用于容纳待热处理的对象;外部腔室,具备:第一部分及第二部分,相面对设置以限定容纳空间;以及内O型圈及外O型圈,配置于所述第一部分与所述第二部分之间的对应区域,在...
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