下载一种晶圆清洗用尺寸转换治具的技术资料

文档序号:42343040

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供了一种晶圆清洗用尺寸转换治具,包括转换框架,所述转换框架的外部尺寸与12寸晶圆盒外部尺寸相同,所述转换框架的顶部设有入口,所述入口的下方设有限位沿,所述限位沿的下方设有8寸晶圆盒放置腔;通过设置转换框架能够将8寸晶圆盒放置其中,从...
该专利属于上海策拓电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海策拓电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。