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一种利用飞秒脉冲激光的单粒子烧毁测试方法及装置制造方法及图纸
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下载一种利用飞秒脉冲激光的单粒子烧毁测试方法及装置的技术资料
文档序号:42341863
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本申请涉及一种利用飞秒脉冲激光的单粒子烧毁测试方法及装置。获取单粒子烧毁测试的聚焦深度、被测器件金属布线分布和被测器件表面能量反射率;根据被测器件金属布线分布和被测器件表面能量反射率,生成单粒子烧毁测试的扫描点分布二维图;设置单粒子烧毁测试...
该专利属于兰州空间技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过兰州空间技术物理研究所授权不得商用。
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