【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及空间辐射效应及加固，更为具体来说，本专利技术涉及一种利用飞秒脉冲激光的单粒子烧毁测试方法及装置。
技术介绍
1、随着工艺尺度的缩减，晶体管的尺寸和间距越来越小，一个入射粒子可能作用于多个单元，且敏感区域的分布更加复杂，这对单粒子效应的准确测试提出了更高的要求，需要在地面单粒子辐照试验评价方法中进行研究考虑。
2、飞秒脉冲激光试验相比于重离子试验来说，具有成本低、易于重复操作、无辐射危害等优点，已逐渐成为单粒子效应重离子试验的有利替代者。但是，随着半导体技术的不断发展，器件工艺尺寸将不断减小，尤其是对先进超快器件来说，其运行速率非常快，器件内部单元的开关时间非常短；较宽脉冲激光的电离响应时间滞后于电路响应时间，难以实现高压碳化硅功率器件的单粒子效应模拟；同时，脉冲激光的脉宽过大还会增大单粒子烧毁的阈值，脉冲激光的脉宽过大导致出现多个敏感节点同时吸收足够的感应电荷，导致在大于能量阈值的时候发生单粒子烧毁效应，影响试验的准确性。这些问题使得以往的测试方法不能完全实现高压碳化硅功率器件的单粒子效应模拟试验要求。为此，急...
【技术保护点】
1.一种利用飞秒脉冲激光的单粒子烧毁测试方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的利用飞秒脉冲激光的单粒子烧毁测试方法，其特征在于，所述获取单粒子烧毁测试的聚焦深度、被测器件金属布线分布，包括：
3.根据权利要求1所述的利用飞秒脉冲激光的单粒子烧毁测试方法，其特征在于，所述获取单粒子烧毁测试的被测器件表面能量反射率，包括：
4.根据权利要求1所述的利用飞秒脉冲激光的单粒子烧毁测试方法，其特征在于，所述根据所述被测器件金属布线分布和所述被测器件表面能量反射率，生成所述单粒子烧毁测试的扫描点分布二维图，包括：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。