下载一种定向结构Si3N4/Al电子封装基片制备方法的技术资料

文档序号:42340337

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本发明公开一种定向结构Si<subgt;3</subgt;N<subgt;4</subgt;/Al电子封装基片制备方法,包括如下步骤:(1)在硅质基片坯体的轴向方向进行定向打孔,然后依次进行氮化、烧结处理,完成后得到...
该专利属于中国建筑材料工业地质勘查中心宁夏总队所有,仅供学习研究参考,未经过中国建筑材料工业地质勘查中心宁夏总队授权不得商用。

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