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本发明提供了一种碳化硅晶体加工设备，属于碳化硅生产领域，包括机台、定位装置、定向装置及切槽装置，机台上开设有避位孔，定位装置设置于机台，用于夹持或者松开放置于机台上的碳化硅晶体，定向装置用于确定碳化硅晶体上的定位槽的开设部位，定向装置包括用...
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