下载一种针对多层膜光学元件内部裂痕的检测装置及检测方法的技术资料

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本发明涉及光学检测领域,公开了一种针对多层膜光学元件内部裂痕的检测装置及检测方法,装置包括具有中空结构的检测基台及一一对应的图像采集装置和光源,中空结构用于露出多层膜光学元件;相对应的图像采集装置与光源分别设置在检测基台所在平面的两侧;光源...
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