一种针对多层膜光学元件内部裂痕的检测装置及检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及光学检测领域，公开了一种针对多层膜光学元件内部裂痕的检测装置及检测方法，装置包括具有中空结构的检测基台及一一对应的图像采集装置和光源，中空结构用于露出多层膜光学元件；相对应的图像采集装置与光源分别设置在检测基台所在平面的两侧；光源照射到多层膜光学元件上的区域涵盖相对应的图像采集装置对多层膜光学元件的成像区，图像采集装置被配置为在相对应的光源被点亮的前提下被触发而捕获图像；多层膜光学元件上位于所述中空结构处的部分划分为一个或多个区域，每个区域被图像采集装置捕获多个图像，且同一区域被捕获的多个图像的对应成像角度均不同。利用普通的成像传感器多方位成像，即可对膜内部细微裂痕进行精确识别。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学样品裂纹检测领域，尤其涉及一种针对多层膜光学元件内部裂痕的检测装置及检测方法。

技术介绍

1、多层膜光学元件容易在其内部出现裂痕，而这些裂痕特征细微，其宽度通常在微米级别。

2、并且光学元件容易反光，因此，若要利用相机拍摄图像来实现多层膜光学元件内部裂痕的识别，则对相机的精密性提出了非常高的要求，而这样的相机十分昂贵，并且也不一定能够实现满足检测识别性要求的成像效果。

3、以上
技术介绍
内容的公开仅用于辅助理解本申请的构思及技术方案，其并不必然属于本申请的现有技术，也不必然会给出技术教导；在没有明确的证据表明上述内容在本申请的申请日之前已经公开的情况下，上述
技术介绍
不应当用于评价本申请的新颖性和创造性。

技术实现思路

1、本专利技术的目的是提供一种针对多层膜光学元件内部裂痕的检测装置及检测方法，通过多机位拍摄多层膜光学元件的同一区域，确保其中至少一个机位能够因光线透过裂痕而捕捉到具有裂痕特征的图像。

2、为达到上述目的，本专利技术采用的技术方案如下：

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【技术保护点】

1.一种针对多层膜光学元件内部裂痕的检测装置，其特征在于，包括至少一个图像采集装置、至少一个光源和一个具有中空结构的检测基台，其中，所述检测基台的中空结构与待检测的多层膜光学元件相匹配，所述光源的波长介于所述多层膜光学元件的通道波长范围；

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括处理器，其被配置为识别所述多层膜光学元件上所有区域被捕获的所有图像中是否存在裂痕特征，若均无，则所述处理器判定所述待检测的多层膜光学元件不存在裂痕缺陷，否则判定所述多层膜光学元件存在裂痕缺陷。

3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，各个图像采集装置的成像光轴与所述检测基...

【技术特征摘要】

1.一种针对多层膜光学元件内部裂痕的检测装置，其特征在于，包括至少一个图像采集装置、至少一个光源和一个具有中空结构的检测基台，其中，所述检测基台的中空结构与待检测的多层膜光学元件相匹配，所述光源的波长介于所述多层膜光学元件的通道波长范围；

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括处理器，其被配置为识别所述多层膜光学元件上所有区域被捕获的所有图像中是否存在裂痕特征，若均无，则所述处理器判定所述待检测的多层膜光学元件不存在裂痕缺陷，否则判定所述多层膜光学元件存在裂痕缺陷。

3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，各个图像采集装置的成像光轴与所述检测基台所在平面之间的夹角介于10°至80°之间；

4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述图像采集装置的成像光轴与所述检测基台所在平面之间具有第一夹角，其一一对应的光源的光束光轴与所述检测基台所在平面之间具有第二夹角，所述第一夹角减去第二夹角的差值介于-30°至30°之间。

5.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，各个图像采集装置的成像光轴与所述检测基台所在平面之间的夹角介于40°至50°之间；

6.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述图像采集装置的成像光轴与相对应的光源的光束光轴共面，所述检测基台所在平面位于所述图像采集装置的成像光轴与相对应的光源的光束光轴的角平分面上。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的检测装置，其特征在于，所述图像采...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓泳兴，刘丛强，余劲松，
申请(专利权)人：慧三维智能科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：