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本发明提供了一种ARF光刻胶用光致产酸剂磺酸盐的制备方法，属于有机合成技术领域。本发明以2‑溴‑2,2‑二氟乙酸酯作为反应原料，成本低廉；本发明通过改进现有的亚磺化工序，具体的，本发明以三苯基甲基硫醇作为原料引入‑S‑基团，经后续过氧化氢的...
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