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本发明使被照射面上的累计照度分布均匀化。一种曝光装置，将来自空间光调制器(10)的光向在扫描方向上被扫描的物体照射，对上述物体进行曝光，具备以照明光对上述空间光调制器(10)进行照明的照明单元(ILU)，上述照明单元(ILU)具有：光学积分...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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