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一种准分子灯装置，提高表面处理效率和真空紫外光的发光效率。具备：灯壳（１０）；准分子灯（２０）；具有气体喷出口（１２ａ）的气体供给管（１２Ａ）；及搬送机构（３８）；在该对被处理体（Ｗ）照射准分子光的准分子灯装置（１０）中，在上述灯壳（１０）...
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