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本技术提供一种晶圆承载盘结构，涉及晶圆承载盘技术领域，包括：转动座，所述转动座的上端面固定连接有承载盘本体，所述承载盘本体的上表面均匀开设有多个圆槽，多个所述圆槽的内底部均开设有安装槽，多个所述安装槽的一侧内壁均固定连接有电机，多个所述电机...
该专利属于江苏长光时空光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏长光时空光电技术有限公司授权不得商用。

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