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本申请提供一种晶圆的加热装置及加热方法。该加热装置包括：温度传感器、温度处理器、第一加热部件、第二加热部件、第一控制器和第二控制器；温度传感器用于在晶圆旋转时，测量晶圆沿径向方向的单个或多个位置的实时温度；温度处理器用于接收温度传感器测量的...
该专利属于深圳市新凯来工业机器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市新凯来工业机器有限公司授权不得商用。

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