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本发明公开了一种存储器件的制造方法及存储器件,制造方法包括:提供半导体基体,半导体基体包括衬底、设置在衬底上的半导体层,其中,所述半导体基体划分有阵列区域;在阵列区域的半导体基体中形成多个栅极堆叠结构,并在栅极堆叠结构在第一方向上的两侧的半...该专利属于武汉新芯集成电路股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉新芯集成电路股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种存储器件的制造方法及存储器件,制造方法包括:提供半导体基体,半导体基体包括衬底、设置在衬底上的半导体层,其中,所述半导体基体划分有阵列区域;在阵列区域的半导体基体中形成多个栅极堆叠结构,并在栅极堆叠结构在第一方向上的两侧的半...