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本技术公开了一种晶圆清洗装置，其技术方案要点是：包括箱体，箱体的顶面固定安装有固定板，所述固定板的一侧开设有第一转动孔，所述固定板的一侧设置有固定盘，所述固定盘由圆柱型的连接部分和两端圆盘型的夹持部分组成，所述固定盘的一侧固定安装有转动轴，...
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