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本发明公开了一种用于大尺寸晶圆的全自动研磨器，本发明涉及晶圆研磨技术领域，包括工作台以及工作台底部安装的防滑垫，工作台的顶面从左往右依次安装有储料组件、转运组件、滑动组件、固定组件、研磨组件和清洗组件，滑动组件包括支撑架、伺服电机、滑台、伸...
该专利属于硅一微电子科技（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过硅一微电子科技（无锡）有限公司授权不得商用。

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