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本发明涉及一种基于双通道剪切差分测量的面形轮廓重构系统及方法，属于光学测量领域。该方法为：在剪切差分非对称干涉测量系统的前选择之前增加一个分束器将光束平行分束成为两个光束，得到两个同步测量的非对称干涉测量系统；通过扫描式面形测量对待测表面进...
该专利属于中国科学院重庆绿色智能技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院重庆绿色智能技术研究院授权不得商用。

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