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本发明提供一种铝或铝合金溅射靶材的清洗方法，其具有至少两个清洗阶段，包括：第一清洗阶段，使用第一清洗剂溶液对铝或铝合金溅射靶材进行至少一次清洗；第二清洗阶段，使用第二清洗剂溶液对铝或铝合金溅射靶材进行至少一次清洗。所述第一清洗剂和所述第二清...
该专利属于宁波江丰电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料有限公司授权不得商用。

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