下载基于激光与超精密磨削的CVD金刚石加工方法的技术资料

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一种基于激光与超精密磨削的CVD金刚石加工方法,属于CVD金刚石机械加工技术领域。本发明针对现有CVD金刚石加工效率低并且加工质量差的问题。包括:获取CVD金刚石晶片初始形貌;对CVD金刚石晶片初始形貌基于激光点烧蚀实验和沟槽烧蚀实验,确定...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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