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本申请涉及一种三轴磁传感器及其制备方法，三轴磁传感器包括：基板，内置有磁场转向件，磁场转向件在第三方向与第一方向/第二方向之间倾斜，用于将第三方向的磁场转向，使其具有第一方向/第二方向的磁场分量；设置于基板的平面的第一磁场敏感区、第二磁场敏...
该专利属于上海矽睿科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海矽睿科技股份有限公司授权不得商用。

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