下载半导体器件及半导体器件的预切割晶圆结构的技术资料

文档序号:42296163

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本技术公开了一种半导体器件,包括衬底以及设于衬底上的外延层,衬底具有凸出于外延层边缘的切割道附加部,切割道附加部的厚度小于衬底的厚度以形成一台阶面,钝化层覆盖外延层的侧壁并延伸至覆盖台阶面的部分表面。本技术还公开了半导体器件的预切割晶圆结构...
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