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涂布方法和涂布装置制造方法及图纸
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文档序号:4229334
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一种涂布方法和涂布装置,将Y轴用伺服马达(26)的驱动力通过Y轴用滚珠丝杠(18)传递到支承部件(20),将X轴用伺服马达(40)的驱动力通过花键轴(30)、螺母(32)、带轮(44)、同步带(48)、带轮(46)、旋转轴(50)、锥齿轮(...
该专利属于玛太克司马特股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过玛太克司马特股份有限公司授权不得商用。
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