温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明所提供的是一种基板支撑单元以及使用该单元抛光基板的装置及方法。所述基板支撑单元在抛光过程中真空吸附所述基板的底面，并且支撑所述基板，以使所述基板向上与所述真空板隔离开，以便在后续清洗过程中清洗所述基板。因此，在所述基板支撑单元以及使用...
该专利属于细美事有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过细美事有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。