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本技术公开的一种新型激光平面度测量仪，包括：一搁置在被测产品的待测平面上的内部装有90度光束转向镜的激光发射器；搁置在被测产品的待测平面上的位置敏感探测器；装有90度光束装向镜的激光发射器将激光光束转90°再平行于被测产品的待测平面，即可快...
该专利属于上海研润光机科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海研润光机科技有限公司授权不得商用。

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