下载在相变存储器前段工序流程中控制电路和存储器阵列的相对高度的技术资料

文档序号:4224965

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公开了一种嵌有PCM部分的CMOS逻辑部分,该CMOS逻辑部分被凹进以栅结构高度,以提供CMOS逻辑部分与PCM部分的平面度,所述栅结构高度与测量的栅氧化层和多晶硅栅的厚度一样。...
该专利属于M.马里亚尼;L.弗拉蒂;A.R.奥多里齐;M.马吉斯特雷蒂所有,仅供学习研究参考,未经过M.马里亚尼;L.弗拉蒂;A.R.奥多里齐;M.马吉斯特雷蒂授权不得商用。

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