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公开了一种嵌有PCM部分的CMOS逻辑部分,该CMOS逻辑部分被凹进以栅结构高度,以提供CMOS逻辑部分与PCM部分的平面度,所述栅结构高度与测量的栅氧化层和多晶硅栅的厚度一样。...该专利属于M.马里亚尼;L.弗拉蒂;A.R.奥多里齐;M.马吉斯特雷蒂所有,仅供学习研究参考,未经过M.马里亚尼;L.弗拉蒂;A.R.奥多里齐;M.马吉斯特雷蒂授权不得商用。
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公开了一种嵌有PCM部分的CMOS逻辑部分,该CMOS逻辑部分被凹进以栅结构高度,以提供CMOS逻辑部分与PCM部分的平面度,所述栅结构高度与测量的栅氧化层和多晶硅栅的厚度一样。...