下载一种氮化铝陶瓷静电卡盘用钼浆及其制备方法的技术资料

文档序号:42247695

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本发明公开了一种氮化铝陶瓷静电卡盘用钼浆及其制备方法,属于静电卡盘技术领域,所述钼浆按照质量百分比包括:70%~85%的钼粉、5~10%的氮化铝粉、10%~20%的有机载体;所述方法包括以下步骤:步骤一:将钼粉、氮化铝粉和松油醇按比例称量后...
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