一种氮化铝陶瓷静电卡盘用钼浆及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种氮化铝陶瓷静电卡盘用钼浆及其制备方法，属于静电卡盘技术领域，所述钼浆按照质量百分比包括：70％～85％的钼粉、5～10％的氮化铝粉、10％～20％的有机载体；所述方法包括以下步骤：步骤一：将钼粉、氮化铝粉和松油醇按比例称量后放入球磨罐中，加入适量的分散剂和松油醇后进行球磨处理，得到钼浆分散液；步骤二：将粘结剂、增塑剂和溶剂，按照比例称量后放入搅拌溶解容器中进行搅拌，搅拌至粘结剂完全溶解，均匀分散降温后密封保存；步骤三：将上述步骤二中的密封保存的液体按照比例加入步骤一中得到的钼浆分散液中，进行球磨处理，将球磨混合后的浆料，倒入三辊轧磨机，进行6～9次扎磨，制得钼浆。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及静电卡盘，特别涉及一种氮化铝陶瓷静电卡盘用钼浆及其制备方法。

技术介绍

1、丝网印刷是高温共烧陶瓷制作中最基本的环节之一，浆料的质量会对料片上面印刷效果和烧结性能有很大影响，从而影响到产品外观，性能，可靠性等。其中浆料的分散稳定性很关键，若分散不均匀，存在团聚的颗粒会在印刷时堵网，在烧结过程中产生气孔。

2、在传统的印刷浆料中，一般由钼粉、陶瓷相和有机载体经一定配比混合而成。申请号为cn201911250168.7中国专利文件公开了一种氧化铝陶瓷用的钼浆料，钼粉、氧化铝和二氧化硅质量比为x:y：1-x-y，其中x＝65～80，y＝0～5，z＝0～10；金属粉末：粘结剂＝80：20，粘结剂是按照乙二醇单丁醚：乙二醇丁醚醋酸酯＝5:15重量比混合配制而成，丝网印刷使用前将浆料以20rpm的转速进行充分滚动处理48～72小时。上述文件公开的钼浆料仅用于氧化铝陶瓷件的表面金属化。

3、一方面，氮化铝陶瓷静电吸盘的主流尺寸包括8英寸、12英寸，相对常用的高温共烧陶瓷基板尺寸大很多，从而对金属钼和陶瓷的匹配，尤其是高温共烧之后的结本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种氮化铝陶瓷静电卡盘用钼浆，其特征在于，按照质量百分比，所述钼浆包括：70％～85％的钼粉、5～10％的氮化铝粉、10％～20％的有机载体。

2.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷静电卡盘用的钼浆，其特征在于：所述钼粉粒径大小为0.8um～1.8um，所述氮化铝粉粒径大小为0.5um～2um。

3.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷静电卡盘用的钼浆，其特征在于：所述有机载体包括5％～90％的溶剂、5％～65％的粘结剂、5％～30％的增塑剂。

4.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷静电卡盘用的钼浆，其特征在于：所述钼粉为球形钼粉或片材钼粉。

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【技术特征摘要】

1.一种氮化铝陶瓷静电卡盘用钼浆，其特征在于，按照质量百分比，所述钼浆包括：70％～85％的钼粉、5～10％的氮化铝粉、10％～20％的有机载体。

2.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷静电卡盘用的钼浆，其特征在于：所述钼粉粒径大小为0.8um～1.8um，所述氮化铝粉粒径大小为0.5um～2um。

3.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷静电卡盘用的钼浆，其特征在于：所述有机载体包括5％～90％的溶剂、5％～65％的粘结剂、5％～30％的增塑剂。

4.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷静电卡盘用的钼浆，其特征在于：所述钼粉为球形钼粉或片材钼粉。

5.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷静电卡盘用的钼浆，其特征在于：所述有机粘结剂为乙基纤维素、聚乙烯醇、聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯醇缩丁醛酯、环氧树脂中的任意一个或者任意两者的混合物或者任意两者以上的混合物。

6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪国志，石锗元，李君，肖伟，
申请(专利权)人：君原电子科技海宁有限公司，
类型：发明
国别省市：