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低漂移化学传感器阵列的方法和装置。一种片上的低基线漂移的ＳＡＷ／ＬＡＷ化学传感器阵列及其形成方法。双ＳＡＷ延迟线包括：用来产生声波的公共ＩＤＴ，以及用来接收声波的一对ＩＤＴ。一个感测层或者一个参考层可以沉积在公共ＩＤＴ的每一侧上的位置中。一...
该专利属于霍尼韦尔国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过霍尼韦尔国际公司授权不得商用。

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