低漂移化学传感器阵列的方法和装置制造方法及图纸

低漂移化学传感器阵列的方法和装置。一种片上的低基线漂移的ＳＡＷ／ＬＡＷ化学传感器阵列及其形成方法。双ＳＡＷ延迟线包括：用来产生声波的公共ＩＤＴ，以及用来接收声波的一对ＩＤＴ。一个感测层或者一个参考层可以沉积在公共ＩＤＴ的每一侧上的位置中。一ＡＳＩＣ芯片包括片上的双操作放大器和混合器，以利用由感测层和参考层给出的差获得差别测量。可利用三维３Ｄ技术来将传感器阵列和ＡＳＩＣ连接在相同的封装中并由此形成３Ｄ堆栈。化学传感器阵列和ＡＳＩＣ可以配置在不同的封装中，并利用２Ｄ技术互连在相同的衬底上。多种气体可以被独立地探测，每种气体可关于与其相关联的感测层和特定参考层而被有差别地探测。

【技术实现步骤摘要】

实施例主要涉及传感器方法和系统。该实施例还涉及SAW (表面声波)和LAW (拉 福声波，love acoustic wave)化学传感器设备。该实施例另外还涉及用于制造SAW化学 传感器阵列的方法。
技术介绍
化学传感器可用于将化学信号(例如，浓度，活性，分压等等)转换成可测量的电 信号。在传统的商用固态化学传感器中，最广为人知的是催化燃烧型传感器(pellistor) 和化学电阻(chemoresistor)。这些固态化学传感器都是电阻型的传感器，并且通常需要加 热到高温才能示出气体敏感性。催化燃烧型传感器可用于探测还原性气体，例如，CH4。典 型的催化燃烧型传感器包括铂电阻部件，在该铂电阻部件上覆盖着其中含有贵金属原子的 多孔陶瓷材料，其中的贵金属原子用于在催化燃烧型传感器表面催化气体的氧化反应。在 存在CH4的情况下，由于放热的气体分解，加热的催化燃烧型传感器进一步地升高其温度。 这样的方法造成温度升高，反过来可以清楚地表示为铂电阻的增大。 化学电阻型传感器通常包括金属氧化物(例如，Sn02)，通过其电阻的增加来探测 氧化剂气体(例如，N0》，通过其电阻的减小来探测还原性气本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低漂移的化学传感器阵列装置，包括：包含有多个叉指换能器的多个ＳＡＷ／ＬＡＷ延迟线，其包括至少用于产生声波的公共叉指换能器和一对用于接收所述声波的叉指换能器，其中所述多个ＳＡＷ／ＬＡＷ延迟线中的每个延迟线包括在所述公共叉指换能器的每一侧上的一个感测层或者一个参考层；以及包括多个操作放大器的ＡＳＩＣ部件，其中在所述多个操作放大器中每个操作放大器包括正反馈回路，在所述正反馈回路中包含所述多个ＳＡＷ／ＬＡＷ延迟线中的一个ＳＡＷ／ＬＡＷ延迟线，并且所述ＡＳＩＣ部件还包括多个混合器，对于要从与所述低漂移的化学传感器阵列装置分别或同时接触的多种气体中探测出的每种气体，所述多个混合器中的每个混合器用来利用...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：C科比亚努，I乔治斯库，
申请(专利权)人：霍尼韦尔国际公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]