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本发明公开了一种TOPCon太阳能电池及其制备方法，属于TOPCon电池领域，采用LPCVD工艺在N型硅片背面制备隧穿氧化层和多晶硅层，并在多晶硅层上沉积一层氧化层；利用激光轰击对背面金属区域表面的氧化层进行开槽处理，裸漏出拟重掺区域；进行...
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