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本发明公布了一种高表面平整度用于晶圆加工的真空吸盘的制备方法，该方法使用不含氯离子可水合氧化镁和茶多酚为原料，通过压滤成型和高温烧结的方式制备高表面平整度的多孔陶瓷片。制备得到的多孔陶瓷片的孔径为80～300纳米，孔隙率42％～67％表面未...
该专利属于爱科美材料科技（南通）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱科美材料科技（南通）有限公司授权不得商用。

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