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一种还原炉筒钟罩的清洗系统技术方案
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下载一种还原炉筒钟罩的清洗系统的技术资料
文档序号:42243311
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本技术公开了一种还原炉筒钟罩的清洗系统,涉及多晶硅生产中清洗设备技术领域,包括用于放置钟罩的清洗平台和清洗机构,所述清洗机构包括三维洗罐器、升降器和内部设有高压水流道的升降空心轴,三维洗罐器的进水口Ⅰ端与升降空心轴上端连通,升降空心轴的另一...
该专利属于四川永祥新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川永祥新能源有限公司授权不得商用。
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