【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅生产中清洗设备,具体涉及还原炉筒钟罩的清洗设备,具体为一种还原炉筒钟罩的清洗系统。
技术介绍
1、还原炉是多晶硅生产的主要设备,采用炉筒和底盘两大部分组成。在多晶硅的生产过程中,为满足多晶硅提炼和生产的纯度与洁净度,还原炉每次装拆后,需要将钟罩内壁清洗干净,才能保证下一炉产品的质量。现有还原炉炉筒的清洗方式采用三维洗灌器360°旋转喷射,喷射角度由三维洗灌器安装高度确定。
2、本公司在先提出了一种清洗装置,参考申请号为“cn202021578119.4”,名称为“一种炉体喷射清洗装置”的专利申请,该清洗装置设备稳定工作时清洗效果不错,但在使用过程中仍发现两大问题:
3、一、清洗机构在旋转过程中喷射支撑杆与中心轴易损坏,维修频繁,人工劳动强度;
4、二、喷射效果靠气缸带动喷射支撑杆调节角度来实现清洗,每个角度的调节均需要气缸精准定位,但气缸往往会故障导致定位不准确,使钟罩内部有一些点位清洗不彻底。
5、因此,仍需对现有设备继续优化,满足生产需要的同时,提高清洗效率。
< ...【技术保护点】
1.一种还原炉筒钟罩的清洗系统,其特征在于:包括用于放置钟罩的清洗平台(1)和清洗机构(2),所述清洗机构(2)包括三维洗罐器(2.1)、升降器(2.2)和内部设有高压水流道(2.3.1)的升降空心轴(2.3),三维洗罐器(2.1)的进水口Ⅰ(2.1.1)端与升降空心轴(2.3)上端连通,升降空心轴(2.3)的另一端连接高压水管(3),升降器(2.2)带动升降空心轴(2.3)在竖直方向移动。
2.根据权利要求1所述的一种还原炉筒钟罩的清洗系统,其特征在于:所述清洗机构(2)还包括固定在支撑面(4)上的导向杆(2.4),升降器(2.2)连接电机(5),升降器
...【技术特征摘要】
1.一种还原炉筒钟罩的清洗系统,其特征在于:包括用于放置钟罩的清洗平台(1)和清洗机构(2),所述清洗机构(2)包括三维洗罐器(2.1)、升降器(2.2)和内部设有高压水流道(2.3.1)的升降空心轴(2.3),三维洗罐器(2.1)的进水口ⅰ(2.1.1)端与升降空心轴(2.3)上端连通,升降空心轴(2.3)的另一端连接高压水管(3),升降器(2.2)带动升降空心轴(2.3)在竖直方向移动。
2.根据权利要求1所述的一种还原炉筒钟罩的清洗系统,其特征在于:所述清洗机构(2)还包括固定在支撑面(4)上的导向杆(2.4),升降器(2.2)连接电机(5),升降器(2.2)的固定端与升降空心轴(2.3)连接,升降器(2.2)通过电机(5)带动升降空心轴(2.3)在导向杆(2.4)上往复运动。
3.根据权利要求1所述的一种还原炉筒钟罩的清洗系统,其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员:李春洋,叶维宁,彭远清,曹杰,李旭,张凡,刘念鑫,王渊力,陆洪祥,
申请(专利权)人:四川永祥新能源有限公司,
类型:新型
国别省市:
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