一种还原炉筒钟罩的清洗系统技术方案

技术编号:42243311 阅读:31 留言:0更新日期:2024-08-02 13:54
本技术公开了一种还原炉筒钟罩的清洗系统,涉及多晶硅生产中清洗设备技术领域,包括用于放置钟罩的清洗平台和清洗机构,所述清洗机构包括三维洗罐器、升降器和内部设有高压水流道的升降空心轴,三维洗罐器的进水口Ⅰ端与升降空心轴上端连通,升降空心轴的另一端连接高压水管,升降器带动升降空心轴在竖直方向移动,解决现有技术中的还原炉筒钟罩的清洗系统容易故障,维修频次高、清洗效率不高的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅生产中清洗设备,具体涉及还原炉筒钟罩的清洗设备,具体为一种还原炉筒钟罩的清洗系统


技术介绍

1、还原炉是多晶硅生产的主要设备,采用炉筒和底盘两大部分组成。在多晶硅的生产过程中,为满足多晶硅提炼和生产的纯度与洁净度,还原炉每次装拆后,需要将钟罩内壁清洗干净,才能保证下一炉产品的质量。现有还原炉炉筒的清洗方式采用三维洗灌器360°旋转喷射,喷射角度由三维洗灌器安装高度确定。

2、本公司在先提出了一种清洗装置,参考申请号为“cn202021578119.4”,名称为“一种炉体喷射清洗装置”的专利申请,该清洗装置设备稳定工作时清洗效果不错,但在使用过程中仍发现两大问题:

3、一、清洗机构在旋转过程中喷射支撑杆与中心轴易损坏,维修频繁,人工劳动强度;

4、二、喷射效果靠气缸带动喷射支撑杆调节角度来实现清洗,每个角度的调节均需要气缸精准定位,但气缸往往会故障导致定位不准确,使钟罩内部有一些点位清洗不彻底。

5、因此,仍需对现有设备继续优化,满足生产需要的同时,提高清洗效率。


技术实现思路

1、本技术旨在提供一种还原炉筒钟罩的清洗系统,用于清洗还原炉筒钟罩,设备运行稳定、维修频次明显减少,满足生产需要的同时,可以明显提高清洗效率。

2、为了实现上述专利技术目的,本技术的技术方案如下:

3、一种还原炉筒钟罩的清洗系统,包括用于放置钟罩的清洗平台和清洗机构,所述清洗机构包括三维洗罐器、升降器和内部设有高压水流道的升降空心轴,三维洗罐器的进水口ⅰ端与升降空心轴上端连通,升降空心轴的另一端连接高压水管,升降器带动升降空心轴在竖直方向移动。

4、进一步的,所述清洗机构还包括固定在支撑面上的导向杆,升降器连接电机,升降器的固定端与升降空心轴连接,升降器通过电机带动升降空心轴在导向杆上往复运动。

5、进一步的,所述清洗平台和清洗机构之间设有密封盒。

6、进一步的,所述清洗平台的一侧设有低部平台,低部平台内布置有排污管和进气管。

7、进一步的,所述进气管为多转折型弯管,进气管的出气口朝上,进气管的下弯处设有排水孔。

8、进一步的,清洗平台上设有排气管,所述排气管设置在清洗平台的高位侧,排气管为下弯结构。

9、进一步的,所述升降空心轴的进水口ⅱ端或高压水管上设有过滤器。

10、本技术的有益效果:

11、一、本技术中,使用现有技术中较为成熟的三维洗罐器结构(三维洗罐器中已包括可以旋转的部件),再此基础中,设计匹配的清洗平台和清洗机构,其中清洗机构还包括升降器和内部设有高压水流道的升降空心轴,实现三维洗罐器的升降往复运动,同时通过高压水为三维洗罐器旋转提供动力,使三维洗罐器可实现钟罩全方位的清洗。另外,将高压水管与升降空心轴直接连接,不再从清洗平台的锥形底板穿孔,减少焊接部位,有效避免焊接部位因振动出现焊缝裂纹的问题。

12、二、本技术中,提出了一种优选的清洗机构,该清洗机构还包括固定在支撑面上的导向杆,使升降器通过电机带动升降空心轴在导向杆上往复运动。

13、三、本技术中,所述清洗平台和清洗机构之间设有密封盒,防止清洗水沿升降空心轴的轴向下串。

14、四、本技术中,清洗平台的一侧设有低部平台,低部平台内布置有排污管和进气管,其中进气管为多转折型弯管,进气管的出气口朝上,进气管的下弯处设有排水孔,可以有效避免清洗水回流至烘干机,保证设备稳定运行;排污管的开口处于最低侧,可以有效排出污水。

15、五、本技术中,清洗平台上设有排气管,所述排气管设置在清洗平台的高位侧,排气管为下弯结构,避免污水进入排风系统、导致污染管道及环境的风险。

16、六、本技术中,升降空心轴的进水口ⅱ端或高压水管上设有过滤器,以便除去碱液结晶颗粒、损坏的高压泵密封圈等杂质,有利于三维洗罐器等精密机构部件长久运行。

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【技术保护点】

1.一种还原炉筒钟罩的清洗系统,其特征在于:包括用于放置钟罩的清洗平台(1)和清洗机构(2),所述清洗机构(2)包括三维洗罐器(2.1)、升降器(2.2)和内部设有高压水流道(2.3.1)的升降空心轴(2.3),三维洗罐器(2.1)的进水口Ⅰ(2.1.1)端与升降空心轴(2.3)上端连通,升降空心轴(2.3)的另一端连接高压水管(3),升降器(2.2)带动升降空心轴(2.3)在竖直方向移动。

2.根据权利要求1所述的一种还原炉筒钟罩的清洗系统,其特征在于:所述清洗机构(2)还包括固定在支撑面(4)上的导向杆(2.4),升降器(2.2)连接电机(5),升降器(2.2)的固定端与升降空心轴(2.3)连接,升降器(2.2)通过电机(5)带动升降空心轴(2.3)在导向杆(2.4)上往复运动。

3.根据权利要求1所述的一种还原炉筒钟罩的清洗系统,其特征在于:所述清洗平台(1)和清洗机构(2)之间设有密封盒(6)。

4.根据权利要求1所述的一种还原炉筒钟罩的清洗系统,其特征在于:所述清洗平台(1)的一侧设有低部平台(1.1),低部平台(1.1)内布置有排污管(7)和进气管(8)。

5.根据权利要求4所述的一种还原炉筒钟罩的清洗系统,其特征在于:所述进气管(8)为多转折型弯管,进气管(8)的出气口(8.1)朝上,进气管(8)的下弯处设有排水孔(8.2)。

6.根据权利要求4所述的一种还原炉筒钟罩的清洗系统,其特征在于:清洗平台(1)上设有排气管(9),所述排气管(9)设置在清洗平台(1)的高位侧,排气管(9)为下弯结构。

7.根据权利要求1所述的一种还原炉筒钟罩的清洗系统,其特征在于:所述升降空心轴(2.3)的进水口Ⅱ(2.3.2)端或高压水管(3)上设有过滤器(10)。

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【技术特征摘要】

1.一种还原炉筒钟罩的清洗系统,其特征在于:包括用于放置钟罩的清洗平台(1)和清洗机构(2),所述清洗机构(2)包括三维洗罐器(2.1)、升降器(2.2)和内部设有高压水流道(2.3.1)的升降空心轴(2.3),三维洗罐器(2.1)的进水口ⅰ(2.1.1)端与升降空心轴(2.3)上端连通,升降空心轴(2.3)的另一端连接高压水管(3),升降器(2.2)带动升降空心轴(2.3)在竖直方向移动。

2.根据权利要求1所述的一种还原炉筒钟罩的清洗系统,其特征在于:所述清洗机构(2)还包括固定在支撑面(4)上的导向杆(2.4),升降器(2.2)连接电机(5),升降器(2.2)的固定端与升降空心轴(2.3)连接,升降器(2.2)通过电机(5)带动升降空心轴(2.3)在导向杆(2.4)上往复运动。

3.根据权利要求1所述的一种还原炉筒钟罩的清洗系统,其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员:李春洋叶维宁彭远清曹杰李旭张凡刘念鑫王渊力陆洪祥
申请(专利权)人:四川永祥新能源有限公司
类型:新型
国别省市:

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