下载感应加热线圈及使用该感应加热线圈的单晶制造装置的技术资料

文档序号:42242912

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本发明提供一种能够抑制原料棒的熔解面的高度偏差而稳定地培育单晶的感应加热线圈及使用该感应加热线圈的单晶制造装置。感应加热线圈(20)具备环状的线圈主体(21),该线圈主体(21)在中央具有开口部(22),并且具有通过从开口部(22)沿大致半...
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